超声波扫描显微镜对被测器件是有一定限制的，因为它的工作频率一般在5MHz~400MHz之间，安赛斯（中国）有限公司引进德国的超声波扫描显微镜，其工作频率可达550M。所以它在不同材料中，穿透深度是不同。一般有这样的规律：频率越高的超声波，穿透性越差，但是分辨率高；频率低的超声波，穿透性好，但是分辨率有限！ 穿透深度（与材料本身有关*）: 穿透深度取决于被测物的弹性参数、信噪比及超声扫描显微镜系统的工作频率。被测物与耦合介质之间较大的声失配会降低穿透深度，但另一方面，高信噪比可以提 高穿透深度。在高声阻抗的固体中超声波的穿透深度与超声波的频率成反比。对于低声阻抗的固体，横波和纵波均可以用于内部成像，因此在这种情况下穿透深度不 受频率的限制。
分辨率：取决于样品和换能器的状况，一般情况下可达到半波长（λ/2）。 频率（MHz） | 穿透深度*（mm） | 理论分辨率（μm） | 焦距（mm） | 5 | 15,0 | 300 | 19 | 10 | 10,0 | 150 | 15 | 15 | 5,1 | 100 | 19 | 20 | 4,1 | 75 | 15 | 25 | 4,1 | 60 | 15 | 30 | 3,4 | 50 | 12 | 40 | 5,4 | 38 | 20 | 75 | 3,4 | 20 | 12 | 80 | 2,2 | 19 | 8 | 100 | 0,4 | 15 | 1 | 110 | 2,2 | 14 | 8 | 120 | 2,2 | 12 | 8 |
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