超声波扫描显微镜的特点在于能够的反映出声波和微小样品的弹性介质之间的相互作用，并对从样品内部反馈回来的信号进行分析！图像上（C-Scan）的每一个象素对应着从样品内某一特定深度的一个二维空间坐标点上的信号反馈，具有良好聚焦功能的Z.A传感器同时能够发射和接收声波信号。一副完整的图像就是这样逐点逐行对样品扫描而成的。反射回来的超声波被附加了一个正的或负的振幅，这样就可以用信号传输的时间反映样品的深度。用户屏幕上的数字波形展示出接收到的反馈信息（A-Scan）。设置相应的门电路，用这种定量的时间差测量（反馈时间显示），就可以选择您所要观察的样品深度。
超声波扫描显微镜在观察案成电路和生物组织方面，显示出比光学员微镜还要*的特点。超声波显微镜是利用超声波来获得集成电路和生物组织的显微图象的，其分济率可与光学显微镜相抗衡，而且对比变更高。即使1μ线宽的线也能清晰地拍摄下来。
超声波扫描显微镜的工作过程是，用千兆赫频率的电信号激励压电元件而产生超声波。用蓝宝石球面透镜使超声波聚焦，然后照射到试样上。从试样反射出来的超声波振幅通过同样的压电元件和检波器再变成电信号。为了能得到完整的图象，试样应进行机械移动。利用透过试样的越声波振幅或相位也能得到透过型图象。比光学显微镜的*之处就在于它能观察集成电路金属层下的构造，对未经染色的红血球也能拍摄高对比度的照片。这种显微镜所用的超声波频率约为1—3千兆赫。在坦声波透镜初试样之间填充适当的液体，可使波长缩短到0.5μ（相当于可见光谱的中心波长）从而提高显微镜的分辨率。用机械扫描型超声波显微篱能够观察到光学显微挠无法观察到的细微部分。
超声波扫描显微镜是用声波进行观察的；而声波具有各种传播方式。一种是纵波、粒子运动和波的运动方向相平行；一种是横放、粒子运动和波的运动方向相垂直，另一种是面声抵它存在于弹性不同的物质界面之中。声波在液体中的传播方式很简单，只是纵波传的方式。
超声波扫描显微镜的声波传播方式就是纵波。目前，该显微镜所用的液体是此不久的将来，可能采用吸收性比水更低酌液体，到那时，使用效果碍会更好。
