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程控精密匀胶机

简要描述:HC160PE 程控精密匀胶机是一种既可用于精密匀胶操作,又可用于半导体显影和清洗的台面式设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性

  • 产品型号:HC160PE
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-01-04
  • 访  问  量:396

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详细介绍

可编程精密匀胶机

型号:HC160PE

   

    HC160PE程控精密匀胶机,采用高级PLC 全自动程序控制,转速精度高,稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。

特点:

l  设计紧凑,可放置在手套箱内;

l  4.3英寸彩色触屏控制,人机界面;

l  不锈钢外壳,美观耐腐蚀;

l  CNC一体加工成型的HDPE内腔,耐腐蚀,易清洁,带排废功能;

l  内腔壁采用独特的凹面设计,有效防溅;

l  高级PLC全自动程序控制,可编程;

l  带真空度安全互锁检测功能;

l  带盖子安全互锁检测功能;

l  带排废接口;

l  配置一个自动点胶接口,可升级自动点胶系统;

l  可设置用户密码保护功能;

l  配置可调基座,方便调节水平;

技术参数:

l  适用晶元尺寸范围:Ø10~160mm

l  旋涂速度:100~12000rpm

l  转速分辨率:1rpm

l  旋涂加速度:100-30000rpm/s

l  旋涂时间:3000s

l  旋涂时间精度:0.1s

l  内腔直径220mm,内腔壁采用独特的凹面防溅设计;

l  具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程100组程序,每组程序10步;

l  电源输入:AC200-230V

设备外形尺寸:XX高:310X254X250mm

HC160PE程控精密匀胶机

HC160PE程控精密匀胶机



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