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匀胶机

简要描述:

SC100-PE型匀胶机是一种超高转速精度,并带有真空数显传感器和水平数显传感器的高精密高档匀胶设备。

更新时间:2021-01-11

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产品介绍:


 

  称:匀胶机

  号:SC100-PE

原产地:

  用:SC100-PE匀胶机是一种超高转速精度,并带有真空数显传感器和水平数显传感器的高精密高档匀胶设备。

 

 

产品概述:


 

  SC100-PE型精密匀胶机是一种超高转速、高精度的旋转匀胶设备,并带有真空数显传感器和水平数显传感器,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
  不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中最大达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。

 

 

性能参数:


 

l  主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)

l  旋涂程序:可扩展编辑和存贮到无限程序步骤

l  转动速度:0-15,000rpm

l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)

l  转速精度达到±0.1rpm,超高转速稳定性;

l  工艺时间设定: 0-3,000 sec/step

l  时间设置精度:0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm8”圆晶)

l  旋涂作业均匀性:< ±3% 6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)

 

 

产品特点:


 

l  内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。

l  7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密闭碗设计可适合各种材料匀胶工艺。

l  采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

l  机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,生锈,便于清洗。

l  透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光刻胶的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

l  数显真空压力传感器,真空值数字显示,压力开关值可设置;

l  数显水平度传感器,实时显示载物盘面的水平度,可通过底脚进行调节;

l  自带四个自动点胶端口,更多端口控制可升级。

 

 

 

产品外型尺寸:
       433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构

 

 

 

 

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