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程控高精度匀胶机

简要描述:程控高精度匀胶机,SC100-SE型匀胶机是一种超高转速精度,并带有真空数显传感器和水平数显传感器的高精密高档匀胶设备。

  • 产品型号:SC100-SE
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-01-04
  • 访  问  量:2989

详细介绍

产品介绍:



 称:程控高精度匀胶机

 号:SC100-SE

 用:程控高精度匀胶机是一种超高转速精度,并带有真空数显传感器和水平数显传感器的高精密高档匀胶设备。



产品概述:



  SC100-SE程控匀胶机是一种超高转速、高精度的旋转匀胶设备,并带有真空数显传感器和水平数显传感器,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
  不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中大达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和*的可重复性。



性能参数:



l  主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)

l  旋涂程序:可扩展编辑和存贮到无限程序步骤

l  转动速度:0-10,000rpm

l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)

l  转速精度达到±0.1rpm,超高转速稳定性;

l  工艺时间设定: 0-3,000 sec/step

l  时间设置精度:0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm8"圆晶)

l  旋涂作业均匀性:< ±3% 6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)



产品特点:



l  内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。

l  7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密闭碗"设计可适合各种材料匀胶工艺。

l  采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

l  机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,生锈,便于清洗。

l  透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时*隔绝光刻胶的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

l  数显真空压力传感器,真空值数字显示,压力开关值可设置;

l  数显水平度传感器,实时显示载物盘面的水平度,可通过底脚进行调节;

l  自带四个自动点胶端口,更多端口控制可升级。




产品外型尺寸:
      433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构





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