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产品特色
Ø 采用高级PLC模块,工业级伺服电机;8英寸彩色触屏控制,人机界面;
Ø HDPE高分子内腔,耐腐蚀,易清洁,带排废功能;内腔壁采用凹面设计,有效防溅;
Ø 可编程写和存储100组程序,每组100步;
Ø 带真空度安全互锁检测功能;带盖子安全互锁检测功能;带排废接口;
Ø 具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计;具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能。
Ø 正、反转旋涂方向可自由切换;旋涂参数可设置循环执行;速度-时间曲线实时显示;
Ø 可设置用户密码保护功能;配置可调基座,方便调节水平;
性能参数
Ø 适用晶元尺寸范围:Ø5~220mm;
Ø 旋涂速度:0~10000rpm;转速分辨率:1rpm;旋涂加速度:0-50000rpm/s(空载);
Ø 最大旋涂时间:3000s;旋涂时间精度:0.1s;
Ø 内腔壁采用凹面防溅设计;
Ø 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程100组程序,每组程序100步;
Ø 均匀性:<±3%(需去边3mm区域测量);
Ø 电源输入:AC200-230V;
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