可编程匀胶机(旋涂仪)

简要描述：HC120SE可编程匀胶机(旋涂仪)：安赛斯TM可编程匀胶机采用高效、节省空间的设计；全彩触屏操作；高级PLC控制；化学兼容性；高精度，高重复性。

产品型号：HC120SE
厂商性质：生产厂家
更新时间：2024-04-08
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半导体前处理

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详细介绍

HC120SE可编程匀胶机(旋涂仪)

ANALYSIS Programmable Spin Coater

安赛斯TM可编程匀胶机(旋涂仪)

型号: HC120SE

优势

设计紧凑，占地面积最小化

全彩色4.3英寸触摸屏显示屏

耐腐蚀不锈钢旋转碗化学相容性

耐用的台式设计，也可采用法兰/甲板安装配置

高级PLC自动程序控制

电机进胶保护，管路易疏通设计

碗形设计

耐腐蚀不锈钢旋转碗

可选铝箔一次性内衬

透明的聚碳酸酯盖子，美观耐腐蚀

可放在手套箱内，用于气氛环境使用

旋涂碗可取下，方便清洁

旋涂碗尺寸200mm，方便操作

可编程性

触摸屏界面和显示器

具有全彩色字母数字功能的图形用户界面（GUI）

100组用户定义配方程序，每个程序10步。

步长为0.1秒的分辨率（3000秒最大步进）

转速：12000 rpm

旋转速度加速度：100至30000转/秒无负载

可选同时、自动化、点胶分配功能

精密度

转速可重复性：<1 rpm

转速分辨率：<1 rpm

基板尺寸：<1 cm至120 mm圆形或同等尺寸（对角线）方形样品

可靠性

防进胶设置保护旋转电机不受接触使用工艺化学品和溶剂

真空安全检测互锁

业界的可靠性和正常运行时间

零件和劳动力的1年全面保修

免费远程技术支持（电话、电子邮件、传真）

产品使用寿命的应用程序帮助

产品外设

电压范围：100-125、208-240 VAC、50/60 Hz

功率要求：255瓦

真空接口：6mm

真空：-88kPa，50L/min

尺寸

8.26" (21cm) W × 10.51" (26.7cm) D × 8.26" (21cm) H

Machine weight: 22 lb (10 kg)

Shipping weight: 26 lb (12 kg)）

附件

HCV300无油真空泵1台，抽气速度50L/min；

标配三只载物盘（10mm，25mm，50mm各一只），其他尺寸规格载物盘可定制；

通用电容笔1只；

产品合格证1份；

中文操作说明书1份；

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