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不锈钢匀胶机150PE

简要描述:不锈钢匀胶机HC150P:E可编程匀胶机,采用分体式结构设计,高分子HDPE耐腐蚀内腔,4.3英寸触摸屏,工业级直流电机及高级PLC控制,直观清晰的程序界面与设计,美观大方。适合涂胶处理Ø 5~150mm圆晶尺寸基片。
  不锈钢匀胶机HC150PE:该匀胶机结构紧凑、简单易用,可编程实现单步旋涂和多步编程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱内操作。HDPE高分子材料旋涂内腔,美观耐腐蚀,经久耐用。

  • 产品型号:HC150PE
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-14
  • 访  问  量:478

详细介绍



产品介绍:



    称:不锈钢匀胶机HC150PE

    号:HC150PE

    用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

 

 

产品概述:



不锈钢匀胶机HC150PE 可编程匀胶机,采用分体式结构设计,高分子HDPE耐腐蚀内腔,4.3英寸触摸屏,工业级直流电机及高级PLC控制,直观清晰的程序界面与设计,美观大方。适合涂胶处理Ø 5~150mm圆晶尺寸基片。
  该匀胶机结构紧凑、简单易用,可编程实现单步旋涂和多步编程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱内操作。HDPE高分子材料旋涂内腔,美观耐腐蚀,经久耐用。

 

性能参数:



  • 适用晶元尺寸范围:Ø 5~150mm

  • 旋涂速度:100~12000rpm

  • 转速分辨率:1rpm

  • 旋涂加速度:100-30000rpm/s

  • 最大旋涂时间:3000s

  • 旋涂时间精度:0.1s

  • 内腔直径212mm,内腔采用凹面防溅设计;

  • 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程100组程序,每组程序10步;

  • 电源输入:AC200-230

产品特点:



  • 设计紧凑,可轻松放置在手套箱内使用;

  • HDPE高分子材料旋涂内腔,耐腐蚀;

  • 采用分体式结构,易清洁和移动;

  • 4.3英寸彩色触屏控制,易学易用;

  • 精确设置实验参数,运行状态实时显示;

  • CNC一体加工成型的HDPE内腔,内腔壁采用凹面设计,有效防溅;

  •  采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;

  • 具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计;

  • 具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能。

  •  可设置用户密码保护功能;

  •  带真空度安全互锁检测功能;

  • 带一路自动点胶接口,可升级自动点胶系统;

 

 


                             HDPE高分子耐腐蚀内腔

              不同尺寸的载物盘

 

不锈钢匀胶机HC150PE产品外型尺寸:
    310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)

 


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