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精密旋涂仪

简要描述:精密旋涂仪:采用高级PLC 全自动程序控制,转速精度高,稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。

  • 产品型号:HC160
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-05
  • 访  问  量:137

详细介绍

产品介绍:




     称:精密旋涂仪HC160

     号:HC160

应   用:精密旋涂仪采用高级PLC 全自动程序控制,转速精度高,稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。

 

产品概述:





  HC160精密旋涂被设计为涂胶处理基片尺寸为Ø5mm~160mm或对应的,使用工业级直流马达和PLC控制,4.3英寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。
  灵巧型匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,且能够升级自动点胶功能,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。

 

性能参数:



  • 适用晶元尺寸范围:Ø5~160mm;

  • 旋涂速度:100~12000rpm;转速分辨率:1rpm;

  • 旋涂加速度:100-30000rpm/s;

  • 最大旋涂时间:3000s;旋涂时间精度:0.1s;

  • 内腔直径220mm,内腔壁采用凹面防溅设计;

  • 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程100组程序,每组程序10步;

  • 电源输入:AC200-230V;

 

产品特点:





  • 设计紧凑,可放置在手套箱内;

  • 5英寸彩色触屏控制,人机界面;

  • 一体加工成型的HDPE内腔,耐腐蚀,易清洁;内腔壁采用凹面设计,有效防溅;

  • 高级PLC全自动程序控制,可编程;

  • 带真空度安全互锁检测功能;带盖子安全互锁检测功能;

  • 具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计;具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能。  

  • 带一路自动点胶接口,可升级自动点胶系统;

  • 可设置用户密码保护功能;

  • 配置可调基座,方便调节水平;

 

 

产品外型尺寸:

  358mm(D)*252mm(W)*255mm(H)

 

HC160PE

 

 

 HDPE高分子材料耐腐蚀内腔

 

                HDPE高分子材料耐腐蚀内腔

 

 

 HDPE高分子内腔及载物盘

        HDPE高分子内腔及载物盘

 




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