详细介绍
产品特色
Ø 设计紧凑,可轻松放置在手套箱内使用;
Ø HDPE高分子材料旋涂内腔,耐腐蚀;采用分体式结构,易清洁和移动;
Ø 4.3英寸彩色触屏控制,易学易用;精确设置实验参数,运行状态实时显示;
Ø 经CNC一体加工成型的HDPE内腔,内腔壁采用特殊的凹面设计,有效防溅;
Ø 采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;
Ø 具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计;具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能。
Ø 可设置用户密码保护功能;
Ø 不锈钢外壳,美观耐腐蚀。
Ø 带真空度安全互锁检测功能;带一路自动点胶接口,可升级自动点胶系统;
性能参数
Ø 适用晶元尺寸范围:Ø 5~150mm;
Ø 旋涂速度:100~12000rpm;转速分辨率:1rpm;
Ø 旋涂加速度:100-30000rpm/s;
Ø 最大旋涂时间:3000s;旋涂时间精度:0.1s;
Ø 内腔直径212mm,内腔采用特殊的凹面防溅设计;
Ø 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程100组程序,每组程序10步;
Ø 电源输入:AC200-230
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