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详细介绍
产品特色
Ø 设计紧凑，可轻松放置在手套箱内使用；
Ø HDPE高分子材料旋涂内腔，耐腐蚀；采用分体式结构，易清洁和移动；
Ø 4.3英寸彩色触屏控制，易学易用；精确设置实验参数，运行状态实时显示；
Ø 经CNC一体加工成型的HDPE内腔，内腔壁采用特殊的凹面设计，有效防溅；
Ø 采用高级PLC程序控制，可编程，实现快速旋涂和多步编程旋涂；
Ø 具有电机进胶保护功能；管路易疏通设计；具有真空不足提示及保护功能，具有断电后参数自动保存功能。
Ø 可设置用户密码保护功能；
Ø 不锈钢外壳，美观耐腐蚀。
Ø 带真空度安全互锁检测功能；带一路自动点胶接口，可升级自动点胶系统；
性能参数
Ø 适用晶元尺寸范围：Ø 5~150mm；
Ø 旋涂速度：100~12000rpm；转速分辨率：1rpm；
Ø 旋涂加速度：100-30000rpm/s；
Ø 最大旋涂时间：3000s；旋涂时间精度：0.1s；
Ø 内腔直径212mm，内腔采用特殊的凹面防溅设计；
Ø 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程100组程序，每组程序10步；
Ø 电源输入：AC200-230
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