带自动点胶8英寸安赛斯可编程匀胶机

带自动点胶8英寸安赛斯可编程匀胶机

产品介绍：

名称：带自动点胶8英寸安赛斯可编程匀胶机

型号：HC220PE

应用：带自动点胶8英寸安赛斯可编程匀胶机是在HC220SE的基础上，增加一路自动点胶系统，满足小批量实验制样的需求。是专业为8英寸及以下晶圆旋涂制膜设计（尺寸向下兼容）。采用高效、节省空间的设计；全彩触屏操作；高级PLC控制；化学兼容性；高精度，高重复性。

产品概述：

带自动点胶8英寸安赛斯可编程匀胶机（spin coater）是一种用于制备高质量均匀薄膜的实验室设备。它的工作原理是将胶液滴加到旋转的衬底表面上，匀胶机高速旋转产生离心力使胶液均匀分布在衬底表面，形成一层纳米级或微米级的均匀薄膜。

HC220PE匀胶机旋涂仪，采用高效、节省空间的设计；全彩触摸屏操作；高级 PLC 控制； HDPE旋涂内腔，化学兼容性；伺服工业电机，高精度，高重复性，适合晶元尺寸范围直径5-220mm。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。

产品特点：

●  设计紧凑，占地面积最小化；

●  HDPE高分子材料旋涂内腔，耐腐蚀，具有化学兼容性；

●  全彩色8英寸触摸屏，易学易用，方便操作；

●  高级PLC自动程序控制，可快速旋涂和多步编程旋涂，运行状态实时显示；

●  采用电机异位驱动结构，具有电机防进胶保护功能；

●  防进胶设计，管道易疏通设计。保护旋转电机不进胶，意外进胶易于疏通；

●  旋转速度、加速度、时间、真空泵关/停、自动吸片、自动释放均可在触屏上操作；

●  真空安全检测互锁，当真空度不足时，设备自动停止运行，防止飞片，确保安全。此功能可以在“设置"中关闭；

● 盖子安全互锁，当盖子开启时，设备自动停止运行，并弹出提示，确保安全。此功能可以在“设置"中关闭；

●  真空度实时数显，真空压力可调节；

●  带4路自动点胶接口，最多可升级4路自动点胶；

●  可设置用户密码保护功能；

技术参数：

●  适用晶元尺寸范围：直径5~220mm（更大尺寸可定制）；

●  旋涂速度：0~10000rpm（更高速度可选）；

●  转速分辨率：0.1rpm；

●  旋涂加速度：0-30000rpm/s；

● 最大旋涂时间：3000s；旋涂时间精度：0.1s；

● 内腔直径258mm，内腔采用独特的凹面防溅设计；

● 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程100组程序，每组程序100步；

●  设备尺寸：445mmX300mmX300mm(长宽高)；

●  重量：20Kg；

●  功率要求：800W；

●  HCV500无油真空泵，真空度-92KPa，抽气速度90L/min；

●  电源输入：AC200-230V

自动点胶系统参数：

●  流量范围：0.006-1340毫升/分钟；

●  流量精度：＜0.5%；

●  转速范围：0.1～350（转/分钟）；

●  转速分辨率：0.1（转/分钟）；

● 电源电压：AC 220V±10%,50Hz/60Hz（标配）；

●  功 率：小于40W；

●  外控接口：外控输入电平5V、12V(标配)、24V（选配）；

●  外控数字通讯接口：RS485通讯，支持MODBUS协议；

●  环境温度：0 ～ 40℃ ；

●  相对湿度：＜80%；

●  防护等级：IP31；

●  机箱尺寸：（长×宽×高）255mm×181mm×198mm；

●  重 量：4.7KG。

8英寸可编程匀胶机HC220PE，带一路自动点胶系统，标准配置包含1台无油真空泵和3只常规载物盘，更多产品信息，请联系安赛斯工作人员，