无油真空泵 润滑微型真空泵，具有高效节能、安全环保、低噪音的特点，而且运行平稳、高可靠性、长寿命、无油易维护；可广泛应用于医疗设备、汽车工业、自动控制、分析仪器、生物制药等领域，是纯净和环保真空的理想选择。

可编程精密不锈钢匀胶机，采用高精度工业伺服电机，配置8英寸人机界面，清晰的编程程序界面设置，易学易用。是半导体行业专用仪器设备。适合半导体行业及科研院所，实验室级的研究开发。适合8英寸及以下尺寸晶元旋涂，可编程不锈钢匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。

不锈钢匀胶机HC150P：E可编程匀胶机，采用分体式结构设计，高分子HDPE耐腐蚀内腔，4.3英寸触摸屏，工业级直流电机及高级PLC控制，直观清晰的程序界面与设计，美观大方。适合涂胶处理Ø 5~150mm圆晶尺寸基片。 　　不锈钢匀胶机HC150PE:该匀胶机结构紧凑、简单易用，可编程实现单步旋涂和多步编程旋涂，尺寸小巧，可放入手套箱内操作。HDPE高分子材料旋涂内腔，美观耐腐蚀，经久耐用。

精密旋涂仪：采用高级PLC 全自动程序控制，转速精度高，稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。

HC220可编程旋涂仪/匀胶机，采用高精度工业伺服电机，配置8英寸人机界面，清晰的编程程序界面设置，易学易用。适合半导体行业及科研院所，实验室级的研究开发

HC220PE精密匀胶机 HDPE高分子内腔，耐腐蚀，易清洁，带排废功能；内腔壁采用凹面设计，有效防溅；可编程写和存储100组程序，每组100步